
FOUP装货港TAS300型号为J1,一般产自欧美国家,目前我国也有。前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)。这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种
容器,其内部可以容纳25片的300mm晶圆,而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭,是一种专属于12吋(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。smif晶圆盒和FOUP的区别是通用
晶片盒
放置能力。smif晶圆盒由特殊设计的机器人组成,它能完全将晶片盒自动取出和放置到设备的变址器上,从而有通用晶片盒放置能力。而FOUP是自动搬运,没有通用晶片盒放置能力。
评论列表(0条)