
刀片切割是指用金刚石刀片切割晶圆,这种方法最为普遍,但容易产生摩擦热和碎屑,需要用纯净水,在切割过程中进行冷却清洗。
激光切割的精度更高,能轻松处理厚度较薄或划片线间距很小的晶圆。
等离子切割采用等离子刻蚀的原理,因此即使划片线间距非常小,这种技术同样能适用。
用蓝膜或UV膜将晶圆与FRAME固定在一起的设备。 半自动晶圆贴膜机由CHUCK TABLE,MOUNTING,FRAME CUTTER,WIND&REWIND,COVER,ELECTRICAL CONTROL SYSTEM等几部分组成。设备有以下几个特点:一、直线切割刀位置可以根据不同的FRAME进行自动变换,这样能够有效的省膜。每次直线切割后,后面的膜由真空吸盘,吸起。二、WAFER CHUCK与FRAME CHUCK是分离式的。WAFER CHUCK可以上下调节,这样可以合理地处理不同厚度的WAFER, 整体的CHUCK TABLE还有浮动,这样贴膜时候,对WAFER有保护作用.三、 贴膜机构中,MOUNTING滚轮是用汽缸来控制的,,对汽缸力的大小可以人为进行调节,这样贴膜力的大小,可以根据客户产品要求确定.四 、机器上气动元件采用SMC或KOGANEL品牌.保证其质量及使用寿命.机器上机械方面的外购件以优质品牌知名产品为主五、 旋转切割刀在6.8寸转换时,方便,另外切割易于 *** 作,同时切割稳定.六、上料机构中,膜的装入与卸下,比较方便,只要旋几下张紧旋扭,便可以实现上下料的 *** 作.同时料桶上有刻线,便于膜装入后,位置的确定.七、本设备是TABLE移动,产品放上TABLE后,TABLE在伺服马达的驱动下移进到工作位置后,贴膜滚轮将膜压下(压到FRAME上),TABLE再移动出来,这样膜自动被贴在产品上。切割机和划片机是半导体芯片制造过程中的同一种设备,只是名称不同,没有什么区别。激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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