
“纳米积木”(原子层范德华纳米材料及其异质结构),就是把不同的层状材料的单层或少层分离出来,像搭积木一样,通过堆叠、旋转等方式,设计特定的形状或结构,形成一个自然界中不存在的 “人造晶体”。
山西大学光电研究所韩拯就是玩转 “纳米积木” 的一位年轻教授,他通过设计特殊的结构,借用传统半导体器件的范例,在微纳米尺度新型半导体结构,展示了二维层状材料垂直组装电子器件的诸多新奇物理现象。
韩拯和合作者首次利用二维原子晶体替代硅基场效应鳍式晶体管的道沟材料,在实验室规模演示了目前世界上沟道宽度最小的鳍式场效应晶体管,将沟道材料宽度减小至 0.6 纳米。同时,获得了最小间距为 50 纳米的单原子层沟道鳍片阵列。
此外,他带领的研究团队首次报道的二维本征铁磁半导体自旋场效应器件,为继续寻找室温本征二维铁磁半导体提供了指导意义。
图 | 《麻省理工 科技 评论》“35 岁以下 科技 创新 35 人” 2020 年中国区榜单入选者韩拯
凭借上述研究成果,韩拯成功入选 “35 岁以下 科技 创新 35 人”(Innovators Under 35)2020 年中国区榜单,获奖理由为用二维功能材料制造新型的纳米电子器件,以新型的原子层次制造路线突破半导体工艺,为后摩尔时代晶体管工艺寻找新方案。
铅笔芯的主要成分是石墨,是典型的范德华材料。由于石墨中碳原子层与层之间的范德华结合力较弱,在纸上写字过程当中笔尖上“蹭”下来的二维碳纳米片,就成为了宏观下人们看到的字迹。直到 2000 年左右,英国曼彻斯特科学家安德烈・海姆(Andre Geim,AG)和康斯坦丁・诺沃肖洛夫(Konstantin Novoselov)首次把石墨的单原子层(约 0.3nm 厚)分离了出来,并因此获得了 2010 年诺贝尔物理学奖。
韩拯以此为灵感,对物理、材料工程、微观世界等科学领域愈发好奇,这也跟他的成长经历息息相关。
韩拯是江苏人,本科考入吉林大学物理学院,开始核物理专业学习。之后考入中国科学院金属研究所材料学硕士专业。2010 年,他在法国国家科学中心 CNRS 下属的 NEEL 研究所攻读纳米电子学与纳米 科技 博士学位。其导师对于他的评价是:“年轻躁动、充满创新活力。”
之后他作为博士后,在美国哥伦比亚大学物理系,从事范德华人工异质结构的维纳器件量子霍尔效应和电子光学等物理性能研究。
“随着对自身行业的不断深入了解和研究,渐渐地进入了角色,也爱上了科研。” 韩拯告诉 DeepTech。
期间,他作为共同第一作者,完成了二维d道输运电子在 pn 结界面的负折射工作,为实现新的电子开关创造了基础,被 Physics World 杂志评为 2016 年度十大物理学突破之一。
在 2015 年 9 月,而立之年的韩拯决定回国,之后一直在中国科学院金属研究所开展新型人工纳米器件的量子输运调控研究。
对于他而言,在研究当中最享受和最开心的事莫过于,本来一个不太明白的事,不断地通过数据积累与同行讨论之后把它弄明白。
之后,韩拯团队以少数层二硫化钼为研究体系,利用超薄(少数原子层)的六方氮化硼(h-BN)作为范德华异质结的隧穿层,系统开展了隧穿晶体管器件研究。
图 | 硫化钼隧穿晶体管光学照片(比例尺 5 微米)、多工作组态整流效应、以及垂直方面切面图
通过在金属和半导体 MoS2 界面之间引入隧穿层 h-BN,可有效降低界面处的肖特基势垒,从而实现通过局域栅电极对通道 MoS2 费米能级的精确静电调控。所获得的 MoS2 隧穿晶体管仅通过门电压调控,即可实现具有不同功能的整流器件,包括 pn 二极管、全关、np 二极管、全开器件。
这项工作首次将双向可调的二极管和场效应管集成到单个纳米器件中,为未来超薄轻量化、柔性多工作组态的纳米器件提供了研究思路。
之所以选择纳米新材料这个方向,除了自身专业背景之外,更重要的是韩拯对科学一直抱有好奇心。
对此,韩拯表示:“硬盘的读写速率速度越来越跟不上 CPU 的运行速度,如果能把它俩合到一起去做存算一体,可以提高计算机的性能。最直接的方法就是把硅半导体与磁复合到一起,变成一个磁性半导体。”
韩拯团队采用惰性气氛下原子层厚度的垂直组装,发现 3.5nm 厚的 Cr2Ge2Te6 材料在铁磁居里温度以下能够保持优秀的载流子导通性,并且能够实现电子与空穴的双极场效应。该型纳米器件在门电压调控下,磁性亦能得到有效调控,并且与电输运相仿,存在双极门电压可调特性。
“磁性的来源是电子自旋和自旋之间的相互作用。目前,人们发现的室温铁磁性基本上要么在金属当中,要么在绝缘体当中,半导体的磁性很难维持到室温。科学家们一直在积极研究寻找室温下堪用的磁性半导体。” 韩拯告诉 DeepTech。
少数层 Cr2Ge2Te6 是目前已知的首个拥有内禀自旋和电荷态密度双重双极可调特性的二维纳米电子材料,这为继续寻找室温本征二维铁磁半导体提供了一定的指导意义。
例如,来自新加坡国立大学的研究团队在该研究基础上,进一步加强了离子掺杂胶的载流子浓度,将少数层 Cr2Ge2Te6 的铁磁居里温度增强了 4 倍,达到 250K(零下 25 摄氏度)温度。
除此之外,韩拯与合作者首次针对具有巨大面内电导率各向异性的二维材料碲化镓,通过垂直电场实现了对该各向异性电阻率比值的调控,从 10 倍调控至高达 5000 倍,该数值为目前已知二维材料领域里报道的最高记录。
这意味着发现了电子世界的 “交通新规”:在晶格传输过程中,受外电场的影响,电子的导电特性沿着不同方向表现出了一定的差异。
也就是说,如果将电子传输通道比喻成两条垂直的繁华街道。当没有电场时,一条是另一条通过率的 10 倍左右。一旦施加一定强度的外电场,这两条 “车道” 上的电子通过率差别可高达 5000 倍。
站在科幻角度来描述,这种材料可以制作成为一种新型各向异性存储器,当该存储器中一次性写入的数据,沿其中一个方向读取出来的是一本小说,而沿另一个方向读取出来的,则是一部电影。
发现的二维极限 GaTe 纳米电子器件展示出了门电压可调的、面内巨各向异性电阻效应(Giant Anisotropic Resistance),为实现新型各向异性逻辑运算、存储单元、以及神经元模拟器件等提供了可能。
之后,韩拯与合作者湖南大学刘松教授、金属研究所孙东明教授等人,首次提出了利用二维原子晶体替代硅基场效应晶体管 FinFET 的 fin 的沟道材料,通过模板生长结合多步刻蚀的方法,制备出了目前世界上沟道宽度最小的(0.6nm)鳍式场效应晶体管(FinFET),也是目前世界上最薄的鳍式晶体管。
FinFET 是一种为了解决由于进一步集成化需求,硅基平面场效应晶体管的尺寸被进一步缩小所引起的短沟道效应等问题,采用将沟道和栅极制备成 3D 竖直形态的鳍(fin)式晶体管。然而,受限于目前微纳加工的精度,报道的硅基 FinFET 沟道宽度最小约为 5nm。
该团队采用自下而上 Bottom-up 的湿法化学沉积,在高度数百纳米台阶状的模板牺牲层上连续保形生长单层二维原子晶体半导体,最终将 FinFET 的沟道材料宽度缩小至单原子层极限的亚纳米尺度(0.6 nm),几乎达到物理极限。
同时,采用多重刻蚀等微纳加工工艺,基于此制备演示了最小间距为 50 nm 的单原子层沟道鳍片阵列,为后摩尔时代的场效应晶体管器件的发展提供了新方案。
在工业界,尤其在半导体工业,大家都希望芯片的尺度越来越小,性能越来越高。FinFET可以把平面通道变成站立通道,这样就节约了大量的空间,如此一次就能在更小的面积里,储存更多的芯片或运算单元。
简单来讲,韩拯其主要研究的是功能材料在尺寸非常非常小的时候,有哪些有趣的物理性质和新奇的物理行为,并进一步利用这些有趣的物理现象,来组装制造成纳米尺度下的低功耗、多功能、智能化的小型电子器件。
事实上,一些范德华材料已经在例如透明柔性电子、能源催化等诸多性能方面超越了传统材料,具有诱人的发展前景。
“团队目前虽然以基础研究为主,但也正在逐渐努力从实验室走向应用,我们需要进一步在原始创新以及与应用研究交叉结合等方面多下功夫”。如何实现从零到一的创造发明,并不断加强研究的深度,将是韩拯团队后续工作中的首要目标。
“我们知道这很难,但是仍然要努力学习做一名孤独的研究者,一方面,是静下心来钻研的孤独,另一方面,则是在创新创造上独树一帜。” 韩拯告诉 DeepTech。
在下一阶段,韩拯表示将继续深耕纳米积木领域,专注在新原理、新结构、新制造方式等科学目标。用自下而上、原子层次制造的路线,与目前主流的自上而下半导体工艺相结合,从而展现更多的可能性。
相信在摩尔定律行将失效不久的将来,小尺寸的突破口,一定出现在纳米制造领域,例如自组装、生物模版、原子层次 3D 打印等等。
姓 名:李欢迎 学 号:20181214053 学 院:广研院原文链接:https://xueqiu.com/7332265621/133496263
【 嵌牛导读 】 : 半导体的应用领域很广,在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,可以说是现代科技的骨架。半导体应用的关键领域便是集成电路。集成电路发明起源于美国,后来在日本加速发展壮大,到目前在韩国台湾分化发展。本文旨在介绍日本半导体的发家史,体会上世纪美日之间在半导体产业争霸上的血雨腥风,同时从中寻找一些我国科技产业的发展经验。
【 嵌牛鼻子 】 : 日本半导体产业
【 嵌牛提问 】 : 日本半导体产业是如何在美国技术封锁的牢笼中走向世界?
【 嵌牛内容 】
在集成电路行业,全球范围内的每一次技术升级都伴随模式创新,谁认清了技术、投资和模式间的关系,谁才能掌握新一轮发展主导权,在全球竞争中占据更为有利的地位,超大规模集成电路(VLSI)计划便是例证。日本的集成电路产业发展较早,在20世纪60年代便已经有了研究基础,发展至今经历了从小到大、从弱到强、转型演变的历史,其中从1976年3月开始实施的超大规模集成电路计划是一个里程碑。
日本集成电路的起点
在超大规模集成电路计划实施前,日本的集成电路行业已经有了一定的基础。作为冷战时期美国抵御苏联影响的桥头堡,日本的集成电路发展得到了美国的支持。1963年,日本电气公司便获得了仙童半导体公司的平面技术授权,而日本政府则要求日本电气将其技术与日本其他厂商分享。以此为起点,日本电气、三菱、夏普、京都电气都进入了集成电路行业。在日本早期的集成电路发展中,与美国同期以军用市场为主不同的是,日本在引进技术后侧重于民用市场。究其原因,第二次世界大战后,日本的军事建设受限,在美苏航天争霸的过程中日本的半导体技术只能用于民间市场。正是如此,日本走出了一条以民用市场需求为导向的集成电路发展之路,并在20世纪70年代和80年代一度赶超美国。
日本政府为集成电路的发展制定了一系列的政策措施,例如1957年制定的《电子工业振兴临时措施法》、1971年制定的《特定电子工业及特定机械工业振兴临时措施法》和1978年制定的《特定机械情报产业振兴临时措施法》,加上民用市场的保护使日本的集成电路具备了一定的基础。
20世纪70年代,在美国施压下,日本被迫开放其半导体和集成电路市场,而同期IBM正在研发高性能、微型化的计算机系统。在这样的背景下,1974年6月日本电子工业振兴协会向日本通产省提出了由政府、产业及研究机构共同开发“超大规模集成电路”的设想。此后,日本政府下定了自主研发芯片、缩小与美国差距的决心,并于1976—1979年组织了联合攻关计划,即超大规模集成电路计划,计划设国立研发机构——超大规模集成电路技术研究所。此计划由日本通产省牵头,以日立、三菱、富士通、东芝、日本电气五家公司为主体,以日本通产省的电气技术实验室、日本工业技术研究院电子综合研究所和计算机综合研究所为支持,其目标是集中优势人才,促进企业间相互交流和协作攻关,推动半导体和集成电路技术水平的提升,以赶超美国的集成电路技术水平。
项目实施的4年间共取得上千件专利,大幅提升了日本的集成电路技术水平,为日本企业在20世纪80年代的集成电路竞争铺平了道路,取得了预期的效果。把握世界竞争大势、研判未来发展方向,需要凝聚力量、统筹协调的专业认知作为支撑。尽管事后看,日本的超大规模集成电路计划实施效果非常理想,但是实施过程却并不顺利。根据前期测算,计划需投入3000亿日元,业界希望能够得到1500亿日元的政府资助,后来实施4年间共投入737亿日元,其中政府投入291亿日元。其间,自民党信息产业议员联盟会长桥木登美三郎多次努力,希望政府追加投入,但是未能如愿。政府投入未及预期,参与企业的士气受到了一定程度的打击。当时,参与计划的富士通公司福安一美说:“当时,大家都有一种被公司遗弃的感觉,而且并未料到竟然研制出向IBM挑战的产品。”
投入不及预期,再加上研究人员从各企业和机构间临时抽调、各行其道,一时间日本的超大规模集成电路计划开发很不顺利,不同研究室人员间互相提防、互不往来、互不沟通的现象十分普遍。 此时,垂井康夫站了出来。垂井康夫1929年出生于东京,1951年毕业于早稻田大学第一理工学院电气工学专业,1958年申请了晶体管相关的专利,是日本半导体研究的开山鼻祖,1976年超大规模集成电路技术研究会成立时被任命为联合研究所的所长。
垂井康夫在当时的日本业界颇具声望,他的领导使各成员都能信服。 垂井康夫对参与方进行积极的引导,指出参与方只有同心协力才能改变基础技术落后的局面,在基础技术开发完成后各企业再各自进行产品开发,这样才能改变在国际竞争氛围中孤军作战的困局。垂井康夫的努力,很快为研发人员所接受,各家力量得到了有效的融合,而历时4年的风雨同舟、协同努力成了日本集成电路产业发展的最好推力。除垂井康夫外,当时已从日本通产省退休的根岸正人功不可没。当时,超大规模集成电路技术研究会设理事会,日立公司社长吉ft博吉担任理事长,但是在真正的执行过程中,根岸正人发挥了很好的协调作用。
根岸正人有多年推动大型国家研究计划的经验,他对计划各参与方的能力、利益诉求都颇为了解,在计划中通过其有效的沟通化解了冲 突,为垂井康夫成功地凝聚团队做了背后的铺垫。 可以看出,在集成电路的研发攻关中,除了资金和资源投入外,团队协调和技术融合更是成功的关键。
从超大规模集成电路计划的组织架构来看,除垂井康夫领导的联合研究所外,先前成立的两个联合研究机构也参与了超大规模集成电路计划,分别是日立、三菱、富士通联合建立的计算机综合研究所,以及由日本电气和东芝联合成立的日电东芝信息系统。三个研究所分别从事超大规模集成电路、计算机和信息系统的研发,其中联合研究所负责基础及通用技术的研发,另两个研究所则负责实用化技术开发(重点为64KB及256KB内存芯片的设计及开发)。在各方的协同努力下,参与方都派遣了其最优秀的工程师。来自各地的工程师们肩并肩地在同一研究所内共同工作、共同生活、集中研 究,在微细加工技术及相关设备、硅晶圆的结晶技术、集成电路设计技术、工艺技术和测试技术上取得了突破。其中,联合研究所主要负责微细加工技术及相关设备、硅晶圆的结晶技术的攻关,其他技术的通用部分也由其负责,实用化的开发则由另两个研究所负责。
具体来看,六个研究室中,分别由不同企业负责协调:第一、第二、第三研究室主要攻关微细加工技术,分别由日立、富士通和东芝负责协调;第四研究室攻关结晶技术,由工业技术研究院电子综合研究所负责协调;第五研究室负责工艺技术,由三菱负责协调;第六研究室攻关测试、评价及产品技 术,由日本电气负责协调。微细加工技术是计划的重心,从联合研究所的研究成果来看,日本当时开发了三种电子束描绘装置、电子束描绘软件、高解析度掩膜及检查装置、硅晶圆含氧量及碳量的分析技术等。垂井康夫评估说,计划实施完毕后日本的半导体技术已和IBM并驾齐驱。在计划中,日本企业对于动态随机存储器有了深入的理解,其更高质量、更高性能的动态随机存储器芯片为日本赶超美国提供了机遇。
从1980年至1986年,日本企业的半导体市场份额由26%上升至45%,而美国企业的半导体市场份额则从61%下滑至43%。 1980年,联合研究所的研究工作已全部结束,而另两个研究所则追加资金(共约1300亿日元)作进一步的技术开发, 以1980年至1982年为第一期,1983至1986年为第二期。 这些系统化的布局为日本的半导体行业腾飞发挥了至关重要的作用。
从人员来看,计划开展期间的联合研究所研发人员数量为100人左右,计算机综合研究所的研发人员数量为400人左右,日电东芝信息系统则为370人左右。在后续投入阶段,研究人员数量减少,1985年计算机综合研究所研发人员已减至90人左右,而日电东芝信息系统则减至30人左右。尽管联合研究所研发人员相对较少,但事关各企业的未来发展基础,因此各企业都派遣一流人才参与。在此过程中,垂井康夫对各企业都十分了解,点名要求各企业派遣其看中的人才。
在实施超大规模集成电路计划及后续的资助计划后,1986年日本半导体产品已占世界市场的45%,超越美国成为全球第一半导体生产大 国。 1989年,在存储芯片领域,日本企业的市场份额已达53%,与美国该领域37%的市场份额形成了鲜明对比。 在日本企业的巅峰时期,日本电气、东芝和日立三家企业排名动态存储器领域的全球前三,其市场份额甚至超90%,与之相比,美国德州仪器和镁光科技则苦苦支撑。
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