硅片生产中TTV什么意思？

TTV:硅片厚度变化量。一般来讲，硅片厚度对硅片本身的品质没有什么影响。硅片中真正起作用的只是硅片表面薄薄的一层，其余的都是起支撑作用。TTV当然越小越好。TTV是衡量硅片品质的一个很重要的指标 过程控制，钢线的检查，圆度是否超标，导轮使用寿命是否到了，工装夹具是否有问题等等。

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