半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么

1 因为切割过程中会产生热量，使用去离子水进行冷却；2 切割中会产生一些粉尘和碎屑，切得过程中要一直使用水来冲洗刀片。使用去离子水是防止水中的可移动离子，比如Na\Cl之类对Wafer造成污染，影响后续的工艺。

冷却液具有冷却作用，防腐作用，防垢作用，防冻作用，散热作用。

冷却是冷却液的基本作用。发动机工作时产生大量的热量，其中60%的热量要通过冷却系统散发到周围空间。防腐作用，冷却系统中散热器、水泵、缸体及缸盖、分水管等部件是由钢、铸铁、黄铜、紫铜、铝、焊焊锡等金属组成，由于不同的金属的电极电位不同，在电解质的作用下容易发生电化学腐蚀；同时冷却液中的二元醇类物质分解后形成的酸性产物、燃料燃烧后行的酸性废气也可能渗透到冷却系统中，促进冷却系统腐蚀。

为了减少水垢的生成，冷却液在生产和加注过程中均要求使用经过软化处理的去离子水。冬季气温低，为使汽车在冬季低温下仍能继续使用，发动机冷却液都加入了一些能够降低水冰点的物质作为防冻剂，保持在低温天气时冷却系统不冻结。

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