1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

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集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等要求，相对其他工业洁净车间而言更加严格。IC产业无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点，因而可以选择将前后区分开，前区为人员 *** 作区(硅片暴露区)，后区为工艺设备接管区。这样洁净度要求高的区域的面积也会减少，可以减少整个系统的循环风量，降低能耗及工程造价。

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照着洁净室的要求去做一些规范吧，

不一定要洁净室的全部设备的，

有些工厂有很好的设备，可是工人素质跟不上，室内环境还是很差，落尘度很高。

尽可能的隔离室内环境，使用空气交换过滤设备，地板上蜡，多使用粘尘布，工人使用防静电服装并尽量保持干净， *** 作动作要小，戴口罩头套，设备的锈迹和油漆沫都要小心清理。

另外产品在加工过程中一般都要吹等离子风扇，去静电的，产品带静电的话容易粘尘，影响很大。室内湿度也要控制。

“负离子空气净化器”这种东西是生活电器，功率很小，指标很低，是满足不了工业环境的需求的。工业中用的是那种设备类似于大空调。

楼主你要改善的话应该从成本低和易于实现的开始实行，直到目标达成为止。

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