半导体厂常见的事故有哪几大类

生产线事故，伤人事故生产线的事故原因有很多，比如突然断电，正在光刻的晶圆基本上就报废了，什么涂胶的，腐蚀的全都报废。而且生产线只要一停，每分钟的损失都是剧额的，尤其是光刻机。为了曝光稳定，基本从买来到报废都不能关机和断电，中途停下来再开始很多参数就变了伤人事故一般是有毒气体或者易燃易爆气体泄漏引起的爆炸和中毒，什么硅烷，砷化氢，基本上所有用于化学气相沉积CVD的气体都不是什么好东西

泄露电流相对比较小，一般零点几毫安，比如220VAC/0.42ma。漏电流相对较大，一半几毫安到几十毫安，比如2000VAC/5ma，也有漏电流有求很高的应用场合，如医疗电源，才零点几毫安。

泄漏电流指在没有故障施加电压的情况下，电气中带相互绝缘的金属零件之间，或带电零件与接地零件之间，通过其周围介质或绝缘表面所形成的电流称为泄漏电流。而漏电流分为四种，分别为：半导体元件漏电流、电源漏电流、电容漏电流和滤波器漏电流。

泄漏电流包括两部分,一部分是通过绝缘电阻的传导电流，另一部分是通过分布电容的位移电流，后者容抗为XC=1/2pfc与电源频率成反比，分布电容电流随频率升高而增加，所以泄漏电流随电源频率升高而增加。例如：用可控硅供电,其谐波分量使泄漏电流增大。

扩展资料：

泄漏电流测量中所用的电源一般均由高压试验变压器或串联谐振耐压装置供给，并用微安表直接读取泄漏电流。它与绝缘电阻测量相比有特点：试验电压高，泄漏电流可由微安表随时监视，灵敏度高，测量重复性也较好。

泄漏电流实际上就是电气线路或设备在没有故障和施加电压的作用下，流经绝缘部分的电流。因此，它是衡量电器绝缘性好坏的重要标志之一，敢是产品安全性能的主要指标。

通信电源的漏电流要求。在漏电流大于3.5MA时，漏电流不应超过每相输入电流的5%，如果负载不平衡，则应采用3个相电流的最大值来进行计算。电源模块稳态漏电流满足国家YD731标准，1500VAC下的漏电流不超过30mA，在220VAC下的漏电流不超过5mA。

参考资料来源：百度百科-漏电流

参考资料来源：百度百科-泄漏电流

（1)电工电子产品部件或零件在故障或过载条件下,可能达到过高的温度,例如产品内部电阻等发热元件有时因电气短路、过载等原因造成过热,甚至点燃周围零件引起电气火灾。

(2)电工电子产品元件或零件由于过载、不良接触及绝缘不良引起泄漏电流大等原因,均可能引起火焰,这种火焰可能射到附近零件上而引起电气火灾。

(3)电工电子产品部件和零件中采用螺钉连接的接头和端子有时由于接头松动、机械压力不足和不符合规范的安装等接触不良而引起接头过热,而用作支承这些导电零件的绝缘件同时也将引起过热。

(4)放置在建筑结构的表面及装饰面上的电工电子产品,其表面积较大,例如大的外壳、绝缘电缆和导管等,当产品周围着火等,也有可能引燃这些产品造成火焰蔓延和释放大量尘烟。

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