1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

一、进出口的位置

一般车间都必须有进出口，而进出口也是最容易被污染的地方，因此我们在设置洁净车间出入口的时候要特别的注意，最好远离其他设备，以免带来交叉污染。

二、控制人员和物料的进出

每一次工作人员和物料的进出可能都会给洁净车间造成影响，因此，对于不同人员和物料都要有各自独立的用于净化的设施，不能相互使用。除此之外，我们还要对工作人员和物料的进出口次数进行控制。三、物料的摆放

根据自己厂对洁净车间的使用程度来划分各个区域。当然，规模不同的洁净车间划分的区域也不是完全相同的。一般会设置辅料区、合格产品区和不合格产品区。如果规模大，我们还要详细的划分，能规避污染就规避污染。CEIDI西递有专门的洁净工程设计工程师，方案做得很细致

---