pcw是什么意思？

pcw是工艺冷却水系统。

工艺冷却水系统(PCW），亦称制程冷却水系统。主要用于冷却工艺设备，简单来说就是工艺设备的空调系统。

PCW系统中有冷冻水和冷却水这两个相对独立的系统，冷冻水由冷冻机提供，冷冻水与冷却水进行热交换，使冷却水降温从而降低设备的温度。

从生产设备抽水经水泵至板式换热器通过控制冷冻水的量来保证PCW的水温，通过过滤器后送至生产线设备，再回到水泵。构成PCW闭式循环。冷冻水侧直接回冷冻机。

工艺冷却水系统的注意事项：

冷却水系统中一般包括水箱、循环水泵、精密过滤器、板式换热器、生产设备用水点、水泵变频电气控制、温度传感器、压差传感器、压力传感器、RO补水装置、背压阀、调压阀、阀件及不锈钢管道等。

PCW在半导体厂是个非常重要的系统，出现故障会影响车间内的大部分的生产设备而导致巨大损失，系统自动化程度高，对控制要求较高，主要包括水温、压力、水质以及水泵的控制。

现代供电网络日趋庞大，彼此间的电磁耦合紧密，系统故障点引起的电压扰动往往会波及更大范围的用电负载。电力系统经常因为短路等不可预防的故障引发电压暂降问题。而在半导体行业中，芯片制造工艺复杂，芯片中电路的制作需层层叠代、环环相扣，芯片从最初的硅圆片上线加工到最后芯片封装销售，整个过程将近上百道工序，任何一道工序的加工失误均会导致整个晶圆片的报废。

在半导体行业中的敏感负载有：厂务排风系统（洁净室）、PCW工艺水、UPW超纯水系统；光刻机；离子注入机；刻蚀机；机台控制系统等。这些系统或负载遇到电压暂降之后，会受到不同程度的影响；严重时会导致整条生产线所生产的芯片报废，给企业带来巨大的经济损失。

电压暂降的危害不仅仅是生产流程中断造成的直接经济损失，还会出现成品率降低、延迟交货、和设备寿命的降低；晃电事故严重的话，时还会影响企业在客户心中的信誉度，从而导致的客户流失等。

---