什么是扩散炉?它有什么用处?

什么是扩散炉?它有什么用处?,第1张

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂,但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法。硅的热氧化作用是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应,生长一层二氧化硅膜。氧化方法有干氧氧化和水汽氧化(含氢氧合成)两种,扩散炉是用这两种氧化方法制备氧化层的必备设备。扩散炉是半导体集成电路工艺的基础设备,它与半导体工艺互相依存、互相促进、共同发展。

名誉理事长:曾培炎、曲维枝、李兆吉、苟仲文

荣誉顾问:王洪金、许居衍、李志坚、陈兴信、黄敞、大坪英夫、王宁国、蒋守雷

理事长:俞忠钰(信息产业部电子科技委副主任)

常务副理事长:许金寿(中国电子信息产业发展研究院科技委主任)

副理事长:(按姓氏笔划序)

王芹生(北京中电华大电子设计有限责任公司董事长)

王国平(华润微电子(控股)有限公司总经理)

王国光(上海华虹NEC电子有限公司行政执行副总裁)

王新潮(江苏长电科技股份有限公司董事长)

石明达(南通富士通微电子股份有限公司董事长/总经理)

叶迪生(天津强芯半导体芯片设计有限公司董事长)

冯海(北京市半导体行业协会理事长)

毕克允(中电科技集团电子科学研究院原副院长/集团科技委常委)

邹世昌(上海市集成电路行业协会会长)

杨克武(中国电子科技集团公司第13研究所所长)

陈丽华(中国电子器件工业总公司总经理)

佟保安(中国电子信息产业集团公司董事)

严晓浪(浙江省半导体行业协会理事长)

赵正平(中国电子科技集团公司副总经理)

屠海令(北京有色金属研究总院院长)

魏少军(清华大学教授)

秘书长:徐小田

副秘书长:(按姓氏笔划序)

于燮康(中国半导体行业协会集成电路分会秘书长)

王红(中国电子科技集团公司处长)

陈贤(中国半导体行业协会知识产权工作部副部长)

徐贞华(中国半导体行业协会展览部主任)

李峻(中国电子信息产业发展研究院赛迪顾问公司执行总裁)

鲍乐群(中国电子信息产业发展研究院处长)

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