半导体,晶圆包装盒怎样清洗更加合理,有效?

半导体,晶圆包装盒怎样清洗更加合理,有效?,第1张

基于晶圆等晶体包装盒的特点,威固特公司结合生产实际存在的问题,并考虑购买成本因素,设计,开发出一款适合晶体包装行业的高,精,尖超声波清洗机.特介绍如下:

1,超声波系统:基于晶体包装盒易损伤的特点,超声波频率提高至132KHZ.况且对超声波的精度有特定的要求:用超声波音压计测九个点, 每个点的误差不超过正负5UA

2,用料:基于晶体包装盒洗剂的特点,超声波槽体的用料全部采用SUS316L#不锈钢板,并且要求提供原产地证明

3,槽体焊接:为确保晶体包装盒子清洗的效果,焊接时要求内外双面焊接.并尽可能地避免采用氩弧焊

4,清洗篮支架:要求SUS316L材料制作,并尽可能地避免采用氩弧焊

5,过滤系统:为避免过滤循环系统影响超声波的效果,也结合高频超声波的特点,特将过滤系统设置成四面回水

6,加热系统:为尽可能的减少温度对超声波的影响,分二组进行智能加热:当设定温度到达时,一组自行断开,另一组继续维持加热所需的热量

7,清洗时分五组超声波清洗,清洗后即进入喷淋清洗

1、半导体材料类产品

超声波清洗设备可以清洗的半导体材料类产品工件有集成电路芯片、功率管、硅片、镓砷化物、二极管、铅框、毛细管、托盘等。这种工作方面若是有毛絮、蚀刻工艺油、冲压油、抛光腊及其尘粒等污渍,超声波清洗设备都能够进行合理的清洗。

2、电子及电气类的产品

电子电气类产品工件有许多都能用超声波清洗设备来清洗,主要包含有电子管构件、阴极射线、印刷电路板、石英构件、电阻器、直流电压表、可变性式电容器、断路器、继电器、连接器、可变性式连接器、电解法交流接触器、扬声器构件、功率表、离心水泵上的马达/滚轮/固定片等等。这种产品工件上若是有手指印、粉状、切割油、冲压油、铁屑、抛光材料、胡桃粉状、抛光腊、粘腻、环氧树脂、尘土等均可使用超声波清洗设备清洗。

3、光学类产品

包含镜头、棱镜、透镜、过滤镜片、玻璃装置、菲林及其光纤等在内的光学装置类产品工件,也能够通过超声波清洗设备将上面的塑料残余、环氧树脂、石腊、手指印等污渍清洗干净。除开半导体材料类、电子电气类及其光学装置类产品工件以外,性价比高价格便宜的超声波清洗设备还能够对五金和机械类的产品工件、电镀类产品工件、汽车零配件还有各种化学纤维产品进行清洗,不难看出,超声波清洗机不可清洗范畴非常广泛,所以才使它变成每个中国的制造业清洗新宠。

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超声波频率:用于工业超声波清洗行业的主要频率为:25KHZ-40KHZ半导体晶圆及液晶玻璃等高精密行业可选择60KHZ-120KHZ频率KHZ表示以频率为单位在一秒间振动的次数单位。

波长:采用谐振液位深度试验洗净洁净度对比结论。市水或DI水或碱性洗涤液的推荐液深

超声波频率为:25KHZ:推荐液位深度为29mm的整数倍液深

超声波频率为:28KHZ:推荐液位深度为2927mm的整数倍液深

超声波频率为:40KHZ:推荐液位深度为21mm的整数倍液深深

上述值会随着液温而变化。

虽然超声波清洗机在工业生产中广泛应用,但由于不同材质和形状等原因,可能会产生清洗损坏。另外,请注意因长时间清洗时因超声波频率不匹配而导致清洗机损坏。


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