
薄膜沉积是一种利用物理或化学方法在特定表面上形成薄膜的技术。它是一种利用原料分子或原子在特定表面上形成薄膜的技术。薄膜沉积可以分为物理沉积和化学沉积。物理沉积是指利用物理方法,如溅射、热蒸发、溶胶-凝胶等,在特定表面上形成薄膜的技术。而化学沉积则是指利用化学反应,如气相沉积、液相沉积等,在特定表面上形成薄膜的技术。
外延和薄膜沉积之间的关系是,外延和薄膜沉积都是用来在特定表面上形成薄膜的技术,但是它们有着不同的原理和方法。外延是一种利用物理或化学方法在特定表面上形成薄膜的技术,而薄膜沉积是一种利用物理或化学方法在特定表面上形成薄膜的技术。外延和薄膜沉积的不同之处在于,外延是一种利用原料分子或原子在特定表面
将金属薄层沉积到衬底或之前获得的薄层的技术称为表面沉积。这里的“薄”是一个相对的概念,但大多数的沉积技术都可以将薄层厚度控制在几个到几十纳米尺度的范围内,分子束外延技术可以得到单一原子层的结构。
沉积技术在光学仪器(消反射膜,减反射膜,自清洁表面等)、电子技术(薄膜电阻,半导体,集成电路)、包装和现代艺术都有应用。在对薄膜厚度要求不高时,类似于沉积的技术常常被使用。例如:用电解法提纯铜,硅沉积,铀的提纯中都用到了类似于化学气象沉积的过程。
沉积技术根据其使用的主要原理可分为两大类:物理沉积和化学沉积。
PVD(Physical Vapor Deposition)---物理气相沉积:指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。
CVD是Chemical Vapor Deposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。
PVD技术出现于,制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。最初在高速钢刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视,人们在开发高性能、高可靠性涂层设备的同时,也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。
与CVD工艺相比,PVD工艺处理温度低,在600℃以下时对刀具材料的抗弯强度无影响;薄膜内部应力状态为压应力,更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层;PVD工艺对环境无不利影响,符合现代绿色制造的发展方向。
当前PVD涂层技术已普遍应用于硬质合金立铣刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、车刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。
扩展资料
CVD例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。
这种技术最初是作为涂层的手段而开发的,但不只应用于耐热物质的涂层,而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个颇具特征的技术领域。
其技术特征在于:
⑴高熔点物质能够在低温下合成;
⑵析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;
⑶不仅可以在基片上进行涂层,而且可以在粉体表面涂层,等。特别是在低温下可以合成高熔点物质,在节能方面做出了贡献,作为一种新技术是大有前途的。
参考资料来源:百度百科-PVD
参考资料来源:百度百科-CVD
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