半导体用的石英管为什么需要低铝含量

半导体中，石英管通常用于高温环境下的热氧化或热扩散。要求低铝含量的原因如下：

1、热氧化热扩散主要是半导体器件形成源漏结的关键步骤，不能有金属离子污染。

2、高温环境可达1000多摄氏度，铝容易硅化，会造成器件结区损伤，容易漏电。

管式炉石英管4-5cm合适。根据查询相关公开信息显示：一般来讲希望小点，温度扩散不严重，但也要考虑放置和取出瓷舟时方便 *** 作，所以一般用的也就4-5cm吧。石英管长度决定炉子的开孔当然还要宽出一圈。

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