
首先真空泵本身,真空泵有很多种,主要分为高中低真空泵:低真空的泵国产比较多,除了一些要求无油润滑的真空泵,用的进口比较多。这类的泵爱德华比较多。中真空比较多的是罗茨泵,罗茨泵国内和进口都有,国内基础的也做得也还好。高真空泵是一些专业真空设备的核心组件之一,主要分为扩散泵、复合分子泵、低温泵等。
扩散泵就是一个喷泉,利用热油喷射带走气体。现在国产的扩散泵比较多也比较好用。
复合分子泵是唯一一种可以达到高真空的机械泵。主要利用高速旋转的叶轮将分子单向排出。国产的以泰岳恒等牌子为主,但是好一点的都是用莱宝的。
低温泵是通过极低温(一般为10K以下),捕捉分子,让分子不在真空室内自由移动。这种泵好像还是莱宝用的多。
我们厂当时主要是买泵装配卖成套设备的。所以独立的泵方面只做过扩散泵。主要是泵壳成型焊接,泵芯制作,盘管(夹套)制作,底座加工,全套组装,加油,上电测试等,具体真空泵都有自己的特点。
给你个建议吧,真空泵厂家都有自己的产品资料,去官网看看吧,产品选型手册很厚一本的,只是很多产品和国内比性价比不高,国内不常用罢了。
*** 作规程1 岗位职责和任务
1.1 严格按照本规程所规定的程序、指标进行开、停车 *** 作调节控制。
1.2 加强设备维护保养,杜绝物料跑、冒、滴、漏,保护环境,做到安全文明生产。
2 工艺流程简述
3 工艺 *** 作规程
3.1 开车前的检查准备工作
3.1.1 准备运行设备时首先检查各设备的放空阀门是否关闭,确认放空阀门关闭。
3.1.2检查系统保压情况,确保系统各法兰无漏现象,关闭设备所有的放空阀门,开启真空泵,待系统内真空度抽到-0.085Mpa~ -0.098Mpa时,停止抽真空,关闭真空泵进口阀门,保压10小时,真空下降不超过0.005Mpa,则系统保压情况良好。
3.1.3 检查系统所有管线、阀门、疏水器及压力表、温度计是否处于完好正常状态。
3.1.4 启动各类泵时首先检查冷却循环水是否打开,确保冷却循环水正常循环。
3.1.5 检查晶浆罐底部阀门是否关闭。
3.1.6.检查自动离心机所属管道是否清洁,机内无异物。
3.2系统开车及正常运行
3.2.1打开所有泵类冷却水
3.2.2开启系统真空泵
3.2.3先抽浆膜蒸发器的真空,抽完之后打开工质罐的阀门,让氟利昂充满降膜蒸发器。之后关闭抽降膜蒸发器的真空阀门,打开系统的真空阀门。
3.2.4待系统的真空抽到-0.098~-0.094Mpa之后打开进料阀门,启动原料液泵开始进料。(注:物料温度需在℃之间,真空泵不停,如果抽到极限可以稍微打开一点真空泵上方一只手动排空阀门进行调整)
3.2.5 结晶器液位显示到结晶器视镜一半时启动循环泵,循环泵频率调至30~50Hz,之后再启动过料泵。(注:结晶器液位不得低于视镜一半)
3.2.6工质罐的氟利昂通过压差原理进入到2楼的板式换热器(其目的保证进入降膜蒸发器的氟利昂为液态),进入到降膜蒸发器,降膜蒸发器里面的液位由气动调节阀连锁控制(如果开机期间调节阀无法正常的工作,也可以人工通过降膜蒸发器底部的球阀进行手动控制)。结晶器上端出气口通过压差原理使得热的水蒸气进入到降膜蒸发器的外层与管路中的氟利昂进行换热,冷却下来的水进入冷凝水罐,然后通过冷凝液泵排出。降膜蒸发器管路中的氟利昂由于换热的原因,一部分会气化,气化的部分压缩机抽过去进行压缩,变成高温的气态氟利昂对系统的换热器里面的物料进行换热(压缩机出口的氟利昂温度由板式换热器和喷淋进行调节),换热后的氟利昂变成液态流入工
质罐中。降膜蒸发器里面的
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