等离子清洗是什么？

如果是半导体的等离子清洗一般用CF4+ Ar+O2作为清洗气体，然后等离子体起辉后将腔体清洗30min。这个很猛，用了F离子，

如果要求不高的话，一般用 Ar+O2作为清洗气，等离子体来清洗工件或者 真空墙体内表面。主要利用了Ar+粒子的轰击效应 和 臭氧的 强氧化性来去除表面的油污和杂质物质。等离子清洗对表面附着的大颗粒固体物质如灰尘没什么用。

一提到等离子清洗机，可能许多人都会觉得生疏，实际上，等离子清洗机不仅可以去除表面污垢，还可以对物体表面进行改性，在工业领域运用广泛，那么，等离子清洗机有哪些应用呢？接下来就由PChouse带大家了解一下吧。

1、FPC和PCB手机通过等离子体清洗，可以去除残胶。

2、照相机和指纹识别工业：软硬结合金PAD通过等离子体清洗表面去氧化，使表面得到高效清洁。

3、等离子体清洗可以用于半导体IC封装领域处理，提升封装质量。

4、等离子体在聚合体、塑料、硅胶领域，可以使表面粗化、腐蚀和活化。

5、TFE（铁氟龙）高频微波板在铜的高频沉铜前的孔壁表面改性活化：提高孔壁与镀铜层结合力，杜绝铜沉铜后黑孔消除孔铜和内层铜高温断裂爆孔等现象，提高产品可靠性。

6、在BGA安装之前，对PCB上的进行等离子表面处理，可以使Pad表面清洁、粗化和活化，大大提高BGA的贴装率。

7、在手机硬件的中框上添加塑料绝缘层或防水层，先经等离子体清洗，然后装入注塑机上的塑料绝缘层或防水层，用等离子清洗绝缘层和五金件才贴好，不易分离，每部手机中框都要经过等离子清洗。

---