半导体酸排的一般浓度是多少

半导体酸排的一般浓度是多少,第1张

半导体酸排的浓度是多少在50到1000mg/m3之间。半导体企业废气分为酸性排气、碱性排气、有机废气、砷排和一般排气等。酸性废气采用碱液洗涤塔,废气与氢氧化钠吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应。

硬氧化采用的设备比较简单,投资少,占地面积少, *** 作方便,易于掌握.其设备由以下几个部分组成.

(1)制冷与热交换装置:为了在铝制品上获得硬质氧化膜,必须在低温下进行氧化处理,才能将由于在高电压、高电流下产生的热量带走,因此冷却氧化液起着重要作用.一般工厂常采用冷凝量达9000kcal/h(1cal=4.1840J)的冷动机组对氧化溶液进行强制降温.

(2)硬质阳极氧化处理槽:硬质阳极氧化处理槽常采用钢制矿渣棉保温铅衬里制作槽.条件不具备时,为简便起见,也可以用木板、钢筋混凝土制作槽体,再涂上防腐衬里.槽体内还需配备一定的冷却蛇形管、压缩空气搅拌管、阴极板、多孔塑料软隔板和导电支架等.槽体的大小和冷却管的设计应根据零件的大小、生产的批量和冷冻机组的功率进行考虑.

(3)溶液温度控制、搅拌及通风系统:硬质阳极氧化过程中,溶液的温度控制和搅拌对硬质阳极氧化工艺来说是个重要的问题.通常温度较低(一5~+5℃或一10~+10℃)时,氧化膜其有较高的电阻,但为了获得厚的氧化膜层,氧化过程中势必要逐渐外加电压,消除因高电阻影响而保持一定的电流密度,使氧化过程继续进行.当大电流通过氧化膜层时,因产生大量的焦耳热,外加氧化膜的生成热,使制件附近的氧化膜与其基体金属接界处温度上升,甚至烧坏零件,因此严格控制温度是必要的.不少工厂采用半导体温度计(一50~+50℃),使用方便可靠.还有的采用一20~+100℃的水银温度计,但是由于是玻璃制品,容易碎,使用久了刻度就会模糊不清,但一次投资少.氧化过程中的发热现象常采用搅拌的方法消除.压缩空气搅拌应保持压缩空气的干净,不能使油、水带入溶液内.氧化过程中,由于温度低,刺激性气体少,条件不具备时,可以不考虑抽风装置,但镀前处理的除油、酸腐蚀、化学抛光等应在良好的抽风条件下进行.

(4)电流设备:硬质阳极氧化处理采用的电源设备与一般阳极氧化处理大体相同.硬度阳极氧化处理也常用直流电源,有的还采用直流电上叠加交流电源[其比例为(4:1)~(6:1)].硬质阳极氧化处理采用的电流、电压比一般阳极氧化处理的要高.

(5)夹具:硬质阳极氧化处理的夹具设计、制造和选择对于氧化处理的质量有很大关系,其设计的原则是:装卸方便,工件紧固要牢,接触导电好,不变形.夹具结构的形式应根据氧化处理零件形状、结构和大小而定.

化学镀镍半导体拉力不好的原因

A . PH值过低,反应慢,沉积速度低

B.PH值过高,溶液会反应剧烈,呈沸腾状,出现深灰色镍粉(溶液自然分解的象征)

*** 作中可以添加氨水来补充蒸发了的氨和中和沉积反应时产生的酸4.温度:

温度对沉积速度影响很大,温度俞高,沉淀速度俞快,当温度低于700C 反应已不进行,当温度高于950C时,将大大降低溶液的稳定性,特别是加热不均匀,PH值偏高时,很容易的自然分解

5.镀镍的时间:

时间过长,沉积的镍层过厚,在烧结时会导镍层致脱落,镀镍失败

时间过短,沉积的镍层过薄,烧结渗入芯片中的镍层不足,不会与二次镍足够的接合在一起,导致抗拉力不足。

本公司镀镍工艺采用渐延长时间的镀镍工艺,2-4min,控制镍层在一个比较均匀的范围内

6.烧结:

由于热能的驱动,加上镍是比较活泼的金属,在高温下镍极易向硅层中渗透。

控制点:

A.氮气的流量

因镍在高温下极易氧化,氮气作为保护气体必须提供足够的保护作用B.推拉杆的速度:

推进的速度过快:热应力过大,层与硅层的附着性降低

拉出的速度过快:芯片过热的情况下拉至炉口导致镍层氧化C.在炉口冷却足够时间:

防止芯片镍层氧化

7.去氧化镍及清洗:

目的:

A.去没有烧渗入硅层内部多余的镍层及氧化镍,为二次镍作与一次镍结合提供清洁,无杂质干扰的环境

B.如氧化镍除去不净,它会增高VF

工艺条件:

85℃热硝酸浸泡4min,浸1:10HF30秒,振清洗10:15min.

控制重点:

A.将一次镍外表的氧化镍及其它杂质振荡清洗撤底,如清洗不净会导致一次镍与二次镍之间的结合不良,最终导致一次镍与二次镍之间的


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