新加坡半导体生产主要英语关键词有哪些 大家帮帮忙

你这个问题太广了，这还要看你是哪一个制程？Wet ? Implant ? Furnace ? Dry Etch ? Litho ? CVD/PVD ? Defect Density ? CMP ? 这么多制程，每一个制程都有自己常用词和关键词，你是哪一个制程？如果你是PI或Product Eng/Technology，那么常用的关键词又不一样了。

区别在于工艺研发不同。

etch意思是干法刻蚀，lithography，litho，photo都指光刻。etch只负责etch工艺研发，litho只负责litho工艺研发。工艺部门最好的是litho第二是etch。

一般半导体研发中litho在前，etch在后。litho曝光完成对图案的传递后，再利用etch蚀刻技术把图案转移到光刻胶下面的film中。

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