
费米能级(电子的分布) -- 能带(晶格原子对势场分布的影响)
最后要弄懂载流子就是空穴和电子
需要统计物理:
玻尔兹曼分布 -- 费米分布
要知道简并, 非简并时该用什么分布
剩下的半导体物理全都是简单的积分。算来算去无非就是算载流子浓度的变化。延伸一下就是电流密度,电容.....
如果你没学过固体物理,那么第一章直接跳过。用baidu弄懂费米能级 -- 能带 -- 空穴 -- 电子这四个概念。然后从第二章开始学,其实就是统计积分----不过,这样会很累。
学刘恩科那本书就齐活了。如果你要是深究,量子力学是必须的,不过忽略它吧,否则你一年都花了,半导体物理还没有开始学。直接学半导体,用到别的再去查!想要提前打好基础再开始学,需要很多时间和精力的。
离子注入18,化学机械平坦化
19,硅片测试
20,淀积
12,金属化
13,光刻:气相成底膜到软烘
14,光刻:对准和曝光
15,光刻:光刻胶显影和先进的光刻技术
16,刻蚀
171,半导体产业介绍
2,半导体材料特性
3,器件技术
4,硅和硅片制备
5,半导体制造中的化学品
6,硅片制造中的沾污控制
7,测量学和缺陷检查
8,工艺腔内的气体控制
9,集成电路制造工艺概况
10,氧化
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