
因为容易产生静电。wafer:晶圆;是指硅
半导体集成电路制作所用的硅
晶片,由于其形状为圆形。wafer 为晶圆,由纯硅(Si)构成。一般分为6英寸、8英寸、12英寸规格不等,晶片就是基于这个wafer上生产出来的。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。以硅工艺为例,一般把整片的硅片叫作wafer。"E/R" 在晶圆制造中通常代表 "Edge Roll-off / Roundness",即晶圆边缘的滚动偏移和圆润度。晶圆边缘的圆润度对于半导体芯片的性能和可靠性有着重要的影响,因此在晶圆生产过程中需要对其进行严格的控制。
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