什么是半导体参数分析仪，或者叫半导体器件分析仪？

半导体参数分析仪（器件分析仪）是一种集多种测量和分析功能于一体的测试仪器，可准确执行电流-电压（IV）和电容测量（CV（电容-电压）、C - f（电容-频率）以及 C – t（电容-时间）测量），并快速、轻松地对测量结果进行分析，完成半导体参数测试。半导体参数测试是确定半导体器件特征及其制造过程的一项基础测量。在参数测试中，通常需要进行 IV 测量，包括分辨率低至 fA（毫微微安培）的小电流测量和高达 1 MHz 的CV 测量，并对主要特征/参数进行分析。虽然半导体参数分析仪的设计初衷是进行半导体评测，但因其优越的性能、强大的功能以及出色的易 *** 作性，现已在各种材料、器件和电子器件的 IV 和 CV 表征中得到广泛应用。

半导体参数分析仪可为表征任务提供更高的性能、更强的可用性以及更高的效率。参数分析仪集多种测量资源于一身，可轻松进行 IV 和 CV 测量，无需汇集或集成多种仪器，例如电源、电压表、电流表、LCR 表、开关矩阵等。参数分析仪的主要测量元器件是电源/测量单元（SMU）。SMU 是一种将电压/电流源功能和电压/电流表功能结合于单一模块中的测量模块。由于该参数分析仪将电源和测量电路紧密集成，所以相比使用多种独立仪器进行相同测量来说，可以提供更高的精度、分辨率以及更小的测量误差。

此外，参数分析仪还具有分析功能，使您无需借助外部 PC 便可快速地交互检查和分析显示屏上的测量结果。由于半导体参数分析仪具有多种功能，因此适用于从探索分析到自动测试的各种测量环境。

比如韩国的思达特，美国的STI，泰克，ITC，IST，吉时利，安捷伦，福禄克，日本的岩崎，TESEC，CATE，JUNO友能，国产的西安易恩电气ENJ2005-C。这是我查的一些关于ENJ2005-C的具体资料：

西安易恩电气 EN-2005C是一款很具有代表性的新型半导体晶体管图示系统，本系统可自动生成功率器件的I-V曲线，也可根据客户的实际需求设置功能测试，直接读取数显结果。系统在失效分析，IQC来料检验及高校实验室等部门有广泛的应用。系统生成的曲线都使用ATE系统逐点建立，保证了数据的准确可靠。系统典型的测试时间是6 to 20ms,通常上百个数据点曲线只需要几秒钟时间便可以展现出来，数据捕获的曲线可导入EXCEL等格式进一步分析研究，是一款高效多功能的高端半导体测试设备。

测试范围 / 测试参数

01

二极管

DIODE

IR；BVR ；VF

02

晶体管

（NPN型/PNP型）

ICBO；ICEO；ICER； ICES； ICEV；IEBO；BVCEO ；BVCBO；

BVEBO；HFE；VCESAT；VBESAT；VBE(VBEON)；RE；VF

03

J型场效应管

J-FET

IGSS；IDOFF；IDGO；BVDGO；BVGSS；VDSON，VGSON；

IDSS；GFS；VGSOFF

04

MOS场效应管

MOS-FET

IDSS；IDSV；IGSSF； IGSSR；VGSF；VGSR；BVDSS；

VGSTH；VDSON、VF(VSD) IDON；VGSON；RDSON；GFS

05

双向可控硅

TRIAC

VD+；VD-；VT+ ； VT-；IGT；VGT ；IL+；IL-；IH+；IH-

06

可控硅

SCR

IDRM；IRRM；IGKO；VDRM；VRRM；BVGKO；VTM；

IGT；VGT；IL；IH

07

绝缘栅双极大功率晶体管

IGBT

ICES；IGESF；IGESR；BVCES；VGETH；VCESAT；ICON；

VGEON；VF；GFS

08

硅触发可控硅

STS

IH+； IH-；VSW+ ； VSW-；VPK+ ；

VPK-；VGSW+；VGSW-

09

达林顿阵列

DARLINTON

ICBO； ICEO；ICER；ICES；ICEX；IEBO；BVCEO；

BVCER；BVCEE；BVCES ；BVCBO；BVEBO；hFE ；

VCESAT； VBESAT；VBEON

10

光电耦合

OPTO-COUPLER

ICOFF、ICBO；IR；BVCEO；BVECO；BVCBO；BVEBO；

CTR；HFE；VCESAT； VSAT；VF(Opto-Diode)

11

继电器

RELAY

RCOIL；VOPER；VREL；RCONT；OPTIME； RELTIME

12

稳压、齐纳二极管

ZENER

IR；BVZ；VF；ZZ

13

三端稳压器

REGULATOR

Vout；Iin；

14

光电开关

OPTO-SWITCH

ICOFF；VD；IGT；VON；ION ；IOFF

15

光电逻辑

OPTO-LOGIC

IR；VF；VOH；VOL；IFON； IFOFF

16

金属氧化物压变电阻

MOV

ID+ ID-；VN+； VN-；VC+ ；VCLMP-；VVLMP+ ；

17

固态过压保护器

SSOVP

ID+ ID-；VCLAMP+, VCLAMP-；VT+、VT-；IH+、

IH-；；IBO+ IBO-；VBO+ VBO-；VZ+ VZ-

18

压变电阻

VARISTOR

ID+； ID-；VC+ ；VC-

19

双向触发二极管

DIAC

VF+,VF-,VBO+,VBO-,IBO+,IBO-,IR+,IR-,

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