
1、掩膜材料(主要指光刻胶)显影不清和曝光强度不够,会使显影时留有残胶,通常会使腐蚀不净。
2、须腐蚀膜的类型(指如SIO2,POLY,SILICON等)。
3、腐蚀速率。腐蚀速率的变化会使腐蚀效果发生改变,经常会导致腐蚀不净或严重过腐蚀,从而造成异常,影响腐蚀速率的因素可见下面的影响因素。
4、浸润与否。由于在湿法腐蚀时由于腐蚀液与膜间存在表面张力,从而使腐蚀液难于到达或进入被腐蚀表面和孔,难于实现腐蚀的目的。
有残胶一般要考虑到首先是不是工艺上的问题,你是用的IR炉还是烤箱呢?温度是多少的?一般来说如果是是保护胶颗粒比较粗的话,网版要印多一次,这样也会有残胶留下来。如果不是工艺的问题,可以考虑换一款保护胶,据我了解您用的日东的保护胶品牌有客户反应胶印和冬天会白雾的情况。如果你想了解更多,可以联系我。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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