关于芯片设计你知道多少?

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这是一篇关于半导体行业发展的长篇介绍,文中有些表达上对行业人士来说可能会存在些许不严谨,欢迎交流。

首先要解释两个概念: 芯片设计与芯片代工

它们是有区别的,在这里举个例子:高通、三星、华为都可以设计芯片。这其中,三星是可以自己生产芯片的,而高通和华为,是需要找代工的。

三星和台积电,是两家最广为人知的芯片代工厂。

比如美国高通的芯片,是自己设计的。但它并不生产芯片,比如高通的高端芯片,是交给三星来代工的,华为设计的高端芯片则是交给台积电来代工。

为什么大陆目前生产不了高端芯片?

论芯片设计,我们已经不弱了,华为的麒麟芯片就是自己研发的,在高端芯片上已经算是很强了。

但麒麟芯片的代工却没有找大陆厂商。

因为即使是大陆目前第一的中芯国际,现在也没有能力生产麒麟970芯片。

华为麒麟970芯片,工艺制程是10nm。

关于工艺制程后面会有详细介绍,就是数字越小,说明制程越先进。我们手机里的芯片,制程工艺好不好,决定了芯片的性能。

7nm的芯片,必然比10nm的强,10nm的又强于14nm工艺的。

在2017年,三星和台积电,都掌握了最先进的10nm工艺。所以现在10nm 的生产工艺,是垄断在英特尔、三星和台积电手里的。

而大陆最先进的中芯国际,只能生产最高规格28nm工艺的。

为什么大陆的生产工艺落后?

主要是光刻机: 因为芯片的生产,关键是要光刻机。 说到光刻机这个行业,就不得不提荷兰 的ASML Holding N.V

简单说一下光刻机:

其实早期的光刻机的原理像幻灯机一样简单,就是把光通过带电路图的掩膜 (Mask,后来也叫光罩) 投影到涂有光敏胶的晶圆上(关于晶圆,下面芯片设计中会有详细介绍)。早期 60 年代的光刻,掩膜版是 1:1 尺寸紧贴在晶圆片上,而那时晶圆也只有 1 英寸大小。

因此,光刻那时并不是高 科技 ,半导体公司通常自己设计工装和工具,比如英特尔开始是买 16 毫米摄像机镜头拆了用。只有 GCA, K&S 和 Kasper 等很少几家公司有做过一点点相关设备。

60 年代末,日本的尼康和佳能开始进入这个领域,毕竟当时的光刻不比照相机复杂。

1978 年,GCA 推出真正现代意义的自动化步进式光刻机 (Stepper),分辨率比投影式高 5 倍达到 1 微米。

但此时的光刻机行业依旧是个小市场,一年卖几十台的就算大厂了。因为半导体厂商就那么多,一台机器又能用好多年。这导致你的机器落后一点,就没人愿意买了。技术领先是夺取市场的关键,赢家通吃。

80 年代一开始,GCA 的 Stepper 还稍微领先,但很快尼康发售了自己首台商用 Stepper NSR-1010G,拥有更先进的光学系统极大提高了产能。两家开始一起挤压了其它厂商的份额。

到了 1984 年,在光刻行业,尼康和 GCA 平起平坐,各享三成市占率。Ultratech 占约一成,Eaton、P&E、佳能、日立等剩下几家瓜分剩下的三成。

但转折也发生在这一年,这一年飞利浦在实验室里研发出 stepper 的原型,但是不够成熟。因为光刻市场太小,飞利浦也不能确认它是否有商业价值,去美国和 P&E、GCA、Cobilt、IBM 等谈了一圈也没人愿意合作。

很巧合有家荷兰小公司叫 ASM International 的老板 Arthur Del Prado 听说了有这么回事,主动要求合作。但这家代理出身的公司只有半导体一些经验,对光刻其实不太懂,等于算半个天使投资加半个分销商。飞利浦犹豫了一年时间,最后勉强同意了设立 50:50 的合资公司。1984 年 4 月 1 日 ASML 成立的时候,只有 31 名员工,在飞利浦大厦外面的木板简易房里工作。

ASML 最早成立时的简易平房,后面的玻璃大厦是飞利浦。Credit: ASML

ASML 在 1985 年和蔡司 (Zeiss) 合作改进光学系统,终于在 1986 年推出非常棒的第二代产品 PAS-2500,并第一次卖到美国给当时的创业公司 Cypress,今天的 Nor Flash 巨头。

但接下来的一年,1986 年半导体市场大滑坡,导致美国一帮光刻机厂商都碰到严重的财务问题。ASML 规模还小,所以损失不大,还可以按既有计划开发新产品。但,GCA 和 P&E 这些老牌厂商就顶不住了,它们的新产品开发都停滞了下来。

1988 年 GCA 资金严重匮乏被 General Signal 收购,又过了几年 GCA 找不到买主而破产。1990 年,P&E 光刻部也支撑不下去被卖给 SVG。

1980 年还占据大半壁江山的美国三雄,到 80 年代末地位完全被日本双雄取代。这时 ASML 大约有 10% 的市场占有率。

忽略掉美国被边缘化的 SVG 等公司,90 年代后,一直是 ASML 和尼康的竞争,而佳能在旁边看热闹。

在后来 ASML 推出浸入式 193nm 产品,紧接着尼康也宣布自己的 157nm 产品以及 EPL 产品样机完成。然而,浸入式属于小改进大效果,产品成熟度非常高,而尼康似乎是在做实验,因此几乎没有人去订尼康的新品。

这导致后面尼康的大溃败。尼康在 2000 年还是老大,但到了 2009 年 ASML 已经市占率近 7 成遥遥领先。尼康新产品的不成熟,也间接关联了大量使用其设备的日本半导体厂商的集体衰败。

至于佳能,当它们看到尼康和 ASML 在高端光刻打得如此厉害就直接撤了。直接开发低端光刻市场,直到现在它们还在卖 350nm 和 248nm 的产品,给液晶面板以及模拟器件厂商供货。

再回来,英特尔、三星和台积电之所以能生产 10nm 工艺的芯片,首先是它们能从 ASML 进口到高端的光刻机,用于生产 10nm 芯片。

而大陆没有高端的光刻机,用中低端的光刻机又缺乏技术,所以暂时只能生产工艺相对落后的芯片。

下面我们谈一谈芯片的设计,在谈论设计之前,我们需要知道 CPU、GPU、微架构和指令集 等概念。

CPU的含义,亦即中央处理器,是负责计算机主要运算任务的组件。功能就像人的大脑。可能大家听过CPU有 x86、ARM 这样的分类,前者主要用于PC而后者主要用于手机平板等设备。

CPU执行在计算任务时都需要遵从一定的规范,程序在被执行前都需要先翻译为CPU可以理解的语言。这种语言被称为 指令集 (ISA,Instruction Set Architecture)。程序被按照某种指令集的规范翻译为CPU可识别的底层代码的过程叫做编译(compile)。像x86、ARM v8、MIPS等都是指令集的代号。同时指令集可以被扩展。厂商开发兼容某种指令集的CPU需要指令集专利持有者授权,典型例子如Intel授权AMD,使后者可以开发兼容x86指令集的CPU。

CPU的基本组成单元即为核心(core)核心的实现方式被称为 微架构 (microarchitecture)和指令集类似,像Haswell、Cortex-A15等都是微架构的代号。微架构的设计影响核心(core)可以达到的最高频率、核心在一定频率下能执行的运算量、一定工艺水平下核心的能耗水平等等。

但值得注意的是: 微架构与指令集 是两个不同的概念:指令集是CPU选择的语言,而微架构是具体的实现。

以兼容ARM指令集的芯片为例:ARM公司将自己研发的指令集叫做ARM指令集,同时它还研发具体的微架构,例如Cortex系列并对外授权。

但是,一款CPU使用了ARM指令集并不等于它就使用了ARM研发的微架构。像高通、苹果等厂商都自行开发了兼容ARM指令集的微架构,同时还有许多厂商使用ARM开发的微架构来制造CPU,比如华为的麒麟芯片。通常,业界认为 只有具备独立的微架构研发能力的企业才算具备了CPU研发能力 ,而是否使用自行研发的指令集无关紧要。微架构的研发也是IT产业技术含量最高的领域之一。

以麒麟980为例,最主要的部分就是 CPU 和 GPU 。其中 Cortex-A76 和 Mali-G76 都是华为找ARM买的微架构授权,华为可以自研微架构吗?肯定是可以的,但要想达到苹果那样应用在手机系统上还有很长一段路要走,最起码现在看来是这样,除了自身研发会遇到各种问题外,因为芯片的开发和软件开发一样,需要EDA工具,使用ARM的微构架,它们会提供很多工具,这些东西也挺核心的,所以一旦另起炉灶就需要考虑各个方面的问题。

弄清楚了这些,就可以开始设计芯片了,但这一步也是非常复杂繁琐的。

芯片制造的过程就像盖房子一样,先有 晶圆 作为地基,然后再层层往上叠,经过一系列制造流程后,就可产出必要的 IC 芯片了。

那什么是晶圆呢?

晶圆(wafer), 是制造各种制式芯片的基础。我们可以将芯片制造看作盖房子,而晶圆就是一个平稳的地基。在固体材料中,有一种特殊的晶体结构──单晶(Monocrystalline)。它的特性就是原子一个接着一个紧密的排列,可以形成一个平整的原子表层。因此,我们采用单晶做成晶圆。但是,该如何产生这样的材料呢,主要有二个步骤,分别为 纯化以及拉晶 ,之后便能完成这样的材料。

纯化分成两个阶段,第一步是冶金级纯化,此一过程主要是加入碳,以氧化还原的方式,将氧化硅转换成 98% 以上纯度的硅。但是,98% 对于芯片制造来说依旧不够,仍需要进一步提升。因此,将再进一步采用 西门子制程(Siemens process) 作纯化,将获得半导体制程所需的高纯度多晶硅。

接着,就是 拉晶

首先,将前面所获得的高纯度多晶硅融化,形成液态的硅。然后,以单晶的 硅种(seed) 和液体表面接触,一边旋转一边缓慢的向上拉起。至于为何需要单晶的硅种,是因为硅原子排列就和人排队一样,会需要排头让后来的人该如何正确的排列,硅种便是重要的排头,让后来的原子知道该如何排队。最后,待离开液面的硅原子凝固后,排列整齐的单晶硅柱便完成了。

但一整条的硅柱并无法做成芯片制造的基板,为了产生一片一片的硅晶圆,接着需要以钻石刀将硅晶柱横向切成圆片,圆片再经由抛光便可形成芯片制造所需的硅晶圆。

至于8寸、12寸晶圆又代表什么东西呢?很明显就是指表面经过处理并切成薄圆片后的直径。尺寸愈大,拉晶对速度与温度的要求就更高,制作难度就越高。

经过这么多步骤,芯片基板的制造总算完成了,下一步便是芯片制造了。该如何制作芯片呢?

IC芯片,全名集成电路(Integrated Circuit),由它的命名可知它是将设计好的电路,以堆叠的方式组合起来。

从上图我们可以看出,底部蓝色的部分就是晶圆,而红色以及土黄色的部分,则是于 IC 制作时要设计的地方,就像盖房子要设计怎样的样式。

然后我们看 红色的部分 ,在 IC 电路中,它是整颗 IC 中最重要的部分,将由多种逻辑闸组合在一起,完成功能齐全的 IC 芯片,因此也可以看作是 根基上的根基

黄色的部分 ,不会有太复杂的构造,它的主要作用是将红色部分的 逻辑闸相连在一起 。之所以需要这么多层,是因为有太多线路要连结在一起,在单层无法容纳所有的线路下,就要多叠几层来达成这个目标了。在这之中,不同层的线路会上下相连以满足接线的需求。

然后开始制作这些部分:

制作 IC 时,可以简单分成4 种步骤。虽然实际制造时,制造的步骤会有差异,使用的材料也有所不同,但是大体上皆采用类似的原理。

完成这些步骤之后,最后便在一整片晶圆上完成很多 IC 芯片,接下来只要将完成的方形 IC 芯片剪下,便可送到封装厂做封装。

封装:

经过漫长的流程,终于获得一颗 IC 芯片了。然而一颗芯片相当小且薄,如果不在外施加保护,会被轻易的刮伤损坏。此外,因为芯片的尺寸微小,如果不用一个较大尺寸的外壳,不容易安置在电路板上,所以才需要最后的封装。

封装的方式有很多种,常见的有双排直立式封装(Dual Inline Package;DIP),球格阵列(Ball Grid Array,BGA)封装,SoC(System On Chip)封装以及 SiP(System In Packet)封装。

完成封装后,然后还需要进入测试阶段 ,在这个阶段是为了确认封装完的 IC 是否能正常的运作,检测没问题后便可出货给组装厂,做成我们所见的电子产品。

至此,完成整个制作流程。

12月7日,日本佳能宣布将于2023年1月上旬发售面向后道工艺的半导体光刻机新产品——i线步进式光刻机“FPA-5520iV LF2 Option”。

据了解,在半导体芯片的制造工艺中,光刻机负责“曝光”电路图案。在曝光的一系列工艺中,在硅晶圆上制造出半导体芯片的工艺称为前道工艺。

保护精密的半导体芯片不受外部环境的影响,并在安装时实现与外部的电气连接的封装工艺称为后道工艺。

佳能宣布发售新一代i线步进式光刻机:性能大增

佳能介绍,新款i线步进式光刻机通过0.8μm的高解像力和拼接曝光技术,使100 x 100mm的超大视场曝光成为可能,从而实现2.5D和3D技术相结合的超大型高密度布线封装的量产。

和去年4月发售的前一代产品“FPA-5520iV LF Option”相比,新品能够将像差抑制至四分之一以下,视场尺寸也较52x68mm大幅增加。

所谓i线也就是光源来自波长365nm的水银灯,和EUV光刻机使用的13.5nm波长激光等离子体光源区别明显。

按照佳能的说法,除芯片精细化以外,封装的高密度布线也被认为是实现高性能的技术之一。可以预见,随着对更高性能半导体器件的先进封装需求的增加,后道工艺中的半导体光刻机市场将继续扩大。

光刻机被誉为半导体产业皇冠上的明珠。光刻机的主要作用是将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上,在某种程度上来说,光刻工艺的决定了半导体线路的线宽,同时也决定了芯片的性能与功耗,越高端的芯片,所需要的光刻工艺也越先进。

“工欲善其事,必先利其器”,光刻机就是芯片制造中的那一把“利器”,也被誉为半导体产业皇冠上的明珠。光刻机的主要作用是将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上,在某种程度上来说,光刻工艺的决定了半导体线路的线宽,同时也决定了芯片的性能与功耗,越高端的芯片,所需要的光刻工艺也越先进。

大家都知道,芯片很重要,离开了芯片,几乎所有电子设备都会失去作用。但要是离开光刻机,自然也就制造不出芯片,同样也不可能有手机、电脑等电子设备的产生。

光刻机的关键技术:以光为媒,刻化微纳于方寸之间

指甲盖大小的一枚芯片,内部却包含了上千万个晶体管,犹如一座超级城市,线路错综复杂,这跟光刻机的工作原理相关,其中涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进学科。因此光刻机是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备,具备极高的单台价值。

如果单纯从工作原理的角度来解析,光刻机并不复杂。“以光为媒,刻化微纳于方寸之间”,光刻机是通过串联的光源能力以及形状控制手段,将光束透射过画着线路图的校正,经过物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法进行显影、刻蚀处理,最终得到刻在硅片上的电路图。

但是它最难的在于,需要在极小的空间内完成超精细的纳米级雕刻工艺,为具备这项能力。需要掌握的关键技术有很多,主要包括以下几种:

1、“微缩投影系统”即所谓的“光刻机镜头”。这种镜头不是一般的镜头,其尺寸可以达到高2米直径1米甚至更大。光刻机的整个曝光光学系统,可能需要20多块锅底大的镜片串联组成,将光学零件精度控制在纳米级别。每块镜片都由高纯度透光材料制成,还包括高质量抛光处理等过程,一块镜头的成本在数万美元上下

2、既然叫做“光刻机”,所以“光源”也是光刻机的核心之一,要求光源必须发出能量稳定且光谱很窄很窄的紫外光,这样才能保证加工精度和精度的稳定性。按照光源的发展轨迹,光刻机从最初的紫外光源(UV)发展到深紫外光(DUV),再到如今的极紫外光(EUV),三者最大的不同在于波长,波长越短,曝光的特征尺寸就越小。

(资料源自上海微电子官网、东兴证券研究所,OFweek电子工程网制图)

最早的光刻机采用汞灯产生的紫外光源,从g-line一直发展到i-line,波长从436nm缩短到365nm。随后,业界利用电子束激发惰性气体和卤素气体结合形成的气体分子, 向基态跃迁时所产生准分子激光的深紫外光源,将波长进一步缩短至193nm,由于在此过程中遇到了技术障碍,因此采用浸没式(immersion)等技术进行矫正后,光刻机的极限光刻工艺节点可达28nm。

如今,业界最先进的光刻机是EUV光刻机,将准分子激光照射在锡等靶材上,激发出波长13.5nm的光子作为光刻机光源。EUV光刻机大幅度提升了半导体工艺水平,能够实现7nm及以下工艺,为摩尔定律的延续提供了更好地方向。而业界也只有ASML一家能够提供EUV设备,处于产业金字塔顶端

3、分辨率,对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式。光刻的分辨率受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面都有关系,总体来说,分辨率和光源波长的关系可以用公式“R(分辨率)=K1(工艺参数)λ(光源波长)/NA(光学镜头的数值孔径)”

4、工艺节点,是反映芯片技术工艺水平最直接的参数。工艺节点的尺寸数值基本上和晶体管的长宽成正比关系,每一个节点基本上是前一个节点的0.7倍,0.7X0.7=0.49,所以每一代工艺节点上晶体管的面积都比上一代小大约一半,因此单位面积上的晶体管数量将翻番,这就是著名的摩尔定律。一般18~24个月,工艺节点就会发展一代。

工艺节点发展以28nm为分水岭,虽然依然按照0.7倍的规律前进,但实际上晶体管的面积以及电性能的提升远落后于节点数值变化。比如英特尔当时统计数据显示,他们20nm工艺的实际性能已经相当于三星14nm和台积电的16nm工艺。更麻烦的是,不同厂商工艺节点换算方法不一,导致了很多理解上的混乱。因此,只有对芯片有很高要求的产品才会采用28nm及以下先进工艺。当然,发展到现在,台积电已经开发出了更为先进的5nm工艺并实现量产,今年下半年就会有搭载相关芯片的产品面世。

高端光刻机为什么难买又难造?

一般来说,一条芯片生产线上需要好几台光刻机,而一台光刻机的造价也非常高,其中成像系统和定位系统最贵,整台设备算下来造价三千万到五亿美元不等。此外,光刻机上的零部件还包括来自瑞典的轴承、德国的镜头、美国的光栅、法国的阀件等等,都属于各个国家的高端工艺产品。

光刻机的折旧速度非常快,每天大概就要花费3~9万人民币,将其称为“印钞机”也不为过。正是因为光刻机昂贵的造价和上文中提到的各项高先进技术,ASML一年也只能制造出20多台EUV光刻机。

这么昂贵的设备,ASML公司一年卖出几台就够养活整个公司了,中国市场一直以来都是ASML看好的重点业务区域,但是却偏偏不能向中国出售高端光刻机,为什么呢?这里就要提到《瓦森纳协定》。比如中芯国际苦苦等待的EUV光刻机,虽然设备一直没到,但是也没有因此停止研发进程,已经在14nm的基础上研发出“N+1”、“N+2”工艺,等同于7nm工艺,公司联合首席执行官兼执行董事梁孟松也透露出,现阶段哪怕不用EUV光刻机,也可以实现7nm工艺。但想要大规模成熟量产,依然离不开EUV光刻机。

中国又被誉为“制造大国”,既然买不着,那自己造如何?

在过去,搜狐能 copy 雅虎,淘宝能 copy eBay,滴滴 copy Uber,那咱们能不能 copy 一个ASML出来自己造光刻机?要知道,ASML可谓是当前光刻机领域的“一哥”,尽管尼康和佳能与之并称“光刻机三巨头”,但在支持14nm及以下的光刻机上,唯有ASML一家独大。

“光刻机之王”ASML的成功难以复制。ASML出身名门,由原本荷兰著名的电器制造商飞利浦公司半导体部门独立拆分出来,于2001年更名为 ASML。

在ASML背后,还有英特尔、三星、台积电、SK海力士等半导体巨头为其撑腰,只有投资了ASML,才能成为其客户,拿到光刻机产品的优先供货权。多方资本注入下,ASML也有了更多强化自身实力的机会:

2001年,ASML收购美国光刻机厂商硅谷集团获得反射技术,市场份额反超佳能,直追尼康

2007年,ASML收购美国 Brion 公司,成为ASML整体光刻产品战略的基石

2012年,ASML收购全球知名准分子激光器厂商Cymer,加强光刻机光源设备及技术

2016年,ASML收购台湾半导体设备厂商汉微科,引入先进的电子束晶圆检测设备及技术

2016年,ASML收购德国卡尔蔡司子公司24.9%股份,加强自身微影镜头技术

2019年,ASML宣布收购其竞争对手光刻机制造商Mapper知识产权资产。

在上文中提到,光刻机设备融合了多门复杂学科,不仅种类繁多,还要求是当前该领域最先进的技术,放眼当下没有任何一家公司敢说自己能在这些领域都做到最好。也就只有ASML能够不断通过自研、收购等方式,一步步走上神坛。

说出来很多人可能不信,我国最早研发光刻机的时候,ASML还没有出现。资料记载,1977年也就是中国恢复高考那年,我国最早的光刻机-GK-3型半自动接近式光刻机诞生,由上海光学机械厂试制。

80年代其实开了个好头,1981年,中国科学院半导体所成功研制出JK-1型半自动接近式光刻机样机。1982年国产KHA-75-1光刻机的诞生,估计跟当时最先进的佳能相比也就相差4年。1985年中国第一台分步投影式光刻机诞生,跟美国造出分布式光刻机的时间差距不超过7年。这些都说明当时中国其实已经注意到了投影光刻技术的重要性,只是苦于国内生产工艺尚不成熟,所以很难实现量产。

80年代末期,“造不如买”的思想席卷了大批制造企业,我国半导体产业研发进程出现了脱节,光刻机产业也未能幸免。

虽然后续一直在追赶国外列强的脚步,但产业环境的落后加上本来就与世界先进企业有差距,使得中国终究没有在高端光刻机领域留下属于自己的痕迹。

“眼看他起朱楼,眼看他楼塌了”,80年代初期奠定的中国光刻机产业基础就这样被轻视了。这也是为什么我国光刻机产业一直赶不上国外的原因,再加上光刻机制造所需要的各种零部件,也都受到不同程度的管制,如今想再追回来,实在太难。

中国高端光刻机正在路上

2001年, 科技 部和上海市于2002年共同推动成立上海微电子装备公司,承担国家“863计划”项目研发100nm高端光刻机。据悉,中电科四十五所当时将其从事分步投影光刻机团队整体迁至上海参与其中

2008年, 科技 部召开国家 科技 重大专项"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"推进会,将EUV技术列为下一代光刻技术重点攻关的方向。中国企业也将EUV光刻机列为了集成电路制造领域的发展重点对象。

如今,国内从事光刻机及相关研究生产的除了上海微电子装备、合肥芯硕半导体、江苏影速集成电路装备以外,还有清华大学精密仪器系、中科院光电技术研究所、中电科四十五所等高校/科研单位。

在研发成果上,2016年,清华大学“光刻机双工件台系统样机研发”项目成功通过验收2016年,清华大学“光刻机双工件台系统样机研发”项目成功通过验收2018年,国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备”通过验收,也是世界上首台用紫外光源实现22nm分辨率的光刻机,意义在于用便宜的光源实现较高的分辨率,用于一些特殊制造场景。

可以看到,在光刻机的自主研发进程上,中国也取得了很大的进步。但相对来说比较缓慢,要想真正研发出高端光刻机,需保证多个学科和领域的技术水平达到或者超过世界先进水平,任何一环节落下都会影响产品的性能。

这是美国的精准打击,有本事查查这个馊点子是如何出笼?我觉得正是我们50年代人掌舵时缺乏几乎所有科学知识,被自己权力切割,连同40后与60后的纽带一同切掉,30后已失能,40后除做房地产的尖子,其余趋向失能,50后是鸿沟的分界,权力中心做自然科学的极少,人才都是做买卖的,买不到自然只有造,说造,得创新,虽然少,但不乏有能做光学化学电学,机电一体化的,光电的组织能力,基本都要退休能要吗?后来60,70都是40,50教的,他们都缺乏系统边缘渗透交融能力,天天喊隔行如隔山,各霸一方,搞这种综合高 科技 设备既缺乏专业精通,又少有隔行合作的气量,包括航空发动机也一样,他瞄准了不打这,那打什么?

因为世界上的高端光刻机只有荷兰在生产,产量有限所以难买。光刻机融合了工业制造的几乎各个方面的高精技术所以也难造。

高端光刻机难买是因为以美国为首的西方国家对中国进行严密的技术封锁,难造是因为光刻机是高 科技 的集成产品,在我国基础如此薄弱的情况下还能取得如此成绩本身就是一个奇迹,假以时日,光刻机也会象盾构机一样被攻克。

难买是别个不想让你超越自己!难造是因为之前有配套设施没把它当回事!接下来重视起来了就不难造了!


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