1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

　净化工程的应用范围：

　1.微电子行业

　目前，微电子工业是对洁净室有很高要求的工业清洁工业。另外，现代工业中液晶和光纤的生产也有清洁度要求。

　福建顺势为邦建设工程有限公司从事净化中央空调，洁净工业厂房，恒温恒湿洁净系统工程规划设计，安装，维护于一体的专业净化工程公司。

　2.制药业

　（1）药品生产我国在全国范围内实施了药品生产质量管理规范（GMP），并针对生产环境的过程提出了不同的清洁度要求。

　（2）医院的白血病治疗室，烧伤病房和手术室应根据情况采用相应的清洁技术，以防止空气中的细菌感染，在治疗中起到环保作用。

　（3）医学实验。对于实验动物育种，基因工程等学科的实验项目，还应有一个清洁的环境以获得有效的结果。

　3.食品的无菌包装在保持食品的颜色，香气，味道和营养方面也优于高温灭菌罐头食品。

　4.航空航天工业，精密机械工业，仪器仪表工业和精细化工等其他工业都使用清洁技术。

　随着技术的发展，特别是在半导体工业中，必须在无尘室条件下执行许多生产步骤。 （净化工程技术）洁净室的应用变得越来越重要。

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