novellus半导体设备型号

GAMMA2130。novellus生产的半导体设备是最为先进的半导体设备。该设备最早用于GAMMA2130这款机器，GAMMA2130属于Asher类设备，针对于12英寸晶圆进行处理。

VDB（Valve Distributing Box），VMB（Valve Manifold Box） 的总箱,主管路到FAB内先接VDB,再分到各各VMB内，也会有些厂叫做FDB(Flow Dispense Box)，流量分配盒，一般都是用在流量需求特别大的气体供应上。你可以理解为空调系统里的分集水器，也就是由总站出来的流体分流输送的装置。大致的供气路劲可以是总站——VDB——VMB——VMP（分盘）——设备用气点。简略回答如上，谢谢。

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