
曝光(光刻)就是使用微影设备(大陆称光刻机)照射涂布有显影液和光阻的晶圆表面,把光罩上的图案转印在晶圆表面,这个过程与照相机底片曝光是一样的原理,所以台湾称之为曝光
曝光在不同的制程中有不同的曝光设备,其实在PCB、TFT-LCD、MEMS、DRAM、晶圆代工、三五族化合物芯片、LED、太阳能等多个领域都需要用到曝光机,原理都是一样的,差别就在于光源不同,分辨率不同。
目前全球最先进的曝光机是荷兰ASML公司的EUV设备,使用13.5nm极紫外波长镭射光源,可以实现5nm及以下的分辨率。
半导体工艺涂完胶不能立马显影是因为需要曝光过程。根据查询相关公开信息显示,光刻工艺是半导体元件制作中的常用工艺,通过在半导体基片(如硅晶圆)表面涂敷一定厚度的光刻胶,然后进行曝光,才能显影,以对基片表面的材料做图形化处理。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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