半导体设备的aligner原理

你好，你是要问半导体设备的aligner原理是什么吗？半导体设备的aligner原理是使仪器中心和测站点在铅垂方向对准的光学装置。aligner原理光学装置对准封装系统是半自动化的光学对准、封装设备，主要用于测站点在铅垂方向对准的光学装置制作时的光路对准及封装等，aligner原理具有精度高、重复性好、性能可靠稳定等特点。

准直处理，单模管比较好处理，发散角可以压的比较小，多模管的话需要做快慢轴准直，发散角还是比较大的，可以选择焦距长点，口径大些的透镜准直，准直光斑大些，这样的发散角会相对小一些了，不过镜头的费用也上去了

---