半导体材料性质表征主要手段有哪些,请写出四种以上,并分别简述其表征材料的何种性质?

半导体材料性质表征主要手段有哪些,请写出四种以上,并分别简述其表征材料的何种性质?,第1张

四探针技术——测量电阻率ρ=1/σ和载流子浓度。

三探针技术——测量击穿电压,并得到电阻率。

Hall效应技术——测量Hall系数R,并得到迁移率(μ=Rσ)。

MOS电容-电压技术——测量MOS中的界面态和电荷等。

光电导衰退技术——测量少数载流子寿命。

QT=-xe△T。热导率又称“导热系数”,是物质导热能力的量度,与迁移率的关系公式是QT=-xe△T。迁移率是指单位电场强度下所产生的载流子平均漂移速度它的,迁移率是表征半导体的一个重要参数,迁移率越大,器件的运行速度越快,截止频率就越高。热导率是指当温度垂直向下梯度为1℃/m时,单位时间内通过单位水平截面积所传递的热量。


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