1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

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1、按照生产工艺流程进行合理布局

一般来说，食品加工过程是原料—半成品—成品，加工车间须按照产品的加工进程顺序进行布局，即从非清洁到清洁环节过渡，不允许在加工流程中出现交叉和倒流。清洁区与非清洁区之间要采取相应的隔离措施，以便控制彼此间的人流和物流，从而避免产生交叉污染，加工品传递通过传递窗进行。

2、原料的处理与成品生产使用同一洁净区域

原料的接收、验收，原材料预处理和原料保管，全部生产加工过程直到成品入库，要求在一条生产流水线上，杜绝生产加工过程的交污染。

3、无菌洁净车间的空间要与生产相适应

洁净车间的大小依需要而定，一般情况下，生产净化车间内的加工人员的人均拥有面积（除设备外）不少于1.5 平方米。过于拥挤的净化车间，不仅妨碍生产 *** 作，而且人员之间的相互碰撞，人员工作服与生产设备的接触，很容易造成产品污染。另外，车间内的墙壁应光滑无死角，以便清洗和消毒。洁净车间应为密闭式并保持车间静压差为正压，设置空气消毒用的紫外线灯、臭氧杀菌、空气过滤净化器和空气净化装置。

4、生产区、生活区和厂前区布局合理

生活区(包括宿舍、食堂、浴室等)应位于生产区的上风向。厂前区(包括传达室、办公楼、停车场、车库等)要与生产区分开。物流通道和产尘量大的建筑，如锅炉房，要建在厂区常年主导风向的下风侧。相互有影响的生产工艺，不宜设在同一建筑物内时，各自生产区域之间应有有效的隔断措施。生产发酵产品应具备专用发酵车间。

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