半导体行业超纯水质量会有哪些要求?

　超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业，还有许多新能源行业也有涉猎，比如我们常说的芯片、半导体、光伏等等。今天我们主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。在半导体生产中，超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境中都会应用到。那么，质量会有哪些要求?虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”，但质量标准却各不相同。半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为：我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

UP水即超纯水（Ultrapure water），是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。

超纯水（Ultrapure water）极为接近高纯度的水，即除了氢离子与氧离子，几乎没有任何其他电解质存在的水。在制造处理过程后能尽可能将溶在水中或在水中散播的各种杂质除去，包含像是有机物、细菌、尘埃、氧化物等任何物质。

根据半导体产业的发展，随着制程的开发，使得晶圆线路更加细致，所使用的清洗用水，也需要更加提升。为了介于以往的纯水名称，故命名为超纯水。 电阻率约达到18.2MΩ.cm，几乎不能导电。

扩展资料

超纯水系统：

超纯水系统是指系统从原水至超纯水完整产生之生产系统。那一般超纯水系统是经由多重过滤，离子交换，除气，逆渗透，紫外线，超滤，奈米滤，离子吸附过滤所产生超纯水。

超纯水可以在以下领域使用：

1、电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。

2、化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。

3、单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。

4、高压变电器的清洗。

参考资料来源：百度百科-超纯水

生产一个2克重的计算机芯片,需要32公斤水资源,也就是0.032吨水。在晶圆上烧刻电路图案需要用大量的超纯水冲洗,一个硅片需要3到4个月的时间才能加工为成品。

一项研究结论指出：“与硬件使用和能源消耗相比，芯片制造是碳排放的主要来源。”最先进的芯片制造商比一些传统的重污染行业的碳排放量更大。

在晶圆上烧刻电路图案需要用大量的超纯水冲洗，一个硅片需要3到4个月的时间才能加工为成品，每做出一批硅片都要消耗大量的电力和水，排出更多的温室气体。

台积电一年的耗水量在160亿到170亿吨之间。其耗水量差不多达到半个三峡大坝的总蓄水量。同时在芯片半导体的生产加工过程中，对于水质的要求越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，超纯水也是其中最关键的因素之一。

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