
在半导体制造厂中,为了维持半导体设备的良率与产出,定期对于半导体设备机台的监控(Monitor)成为一项极为重要的工作,其中,对于半导体设备机台的监控程序包括定期依据设备工程师定义的数据收集半导体制造设备状态值(StatusValue,SV)来对于此半导体设备机台进行测量。
极低的接收灵敏度,再加上业界领先的超大输出功率保证扩大范围和提高链路性能。
生产三极管的设备可能有MOCVD,光刻机,离子注入,金丝球焊机,封帽机,测试设备等。这些设备大多是自动化设备,尤其是MOCVD和离子注入。控制部分是PLC+数字电路,非常复杂。其他的设备电路部分常见的是数字电路控制。但也不排除简单的PLC。
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