
方法如下:(1)真实性检验(AIR)。通过化学腐蚀及物理显微观察等方法,来检验鉴定器件是否为原半导体厂商的器件。(2)直流特性参数测试(DCCT)。通过专用的IC测试机台来测量记录器件的直流特性参数,并比较分析器件的性能参数,又称静态度测试法。 (3)关键功能检测验证(KFR)。根据原厂器件产品的说明或应用笔记(范例),或者终端客户的应用电路,评估设计出可行性专用测试电路,通过外围电路或端口,施加相应的有效激励(信号源)给输入PIN脚,再通过外围电路的调节控制、信号放大或转换匹配等,使用通用的测量仪器或指示形式,来检测验证器件的主要功能是否正常。(4)全部功能及特性参数测试(FFCT)。根据原厂提供的测试向量或自己仿真编写(比较艰难的过程)的测试向量,使用IC测试机台来测试验证器件的直流特性参数、器件的所有功能或工作运行的状态,但不包括AC参数特性的验证分析。换句话说,完全囊括了级别II和级别III的测试项目。(5)交流参数测试及分析(ACCT)。在顺利完成了级别V之后,且所有的测试项目都符合标准,为了进一步验证器件信号传输的特性参数,及边沿特性、而进行AC参数的测试。
封装之后的测试不熟,有FT、SLT等,具体不详,yield map一类,以前在fab的时候,看到的是结果,具体测法不详,说一下fab芯片制造完成之后的测试吧。
1,出厂必测的WAT,wafer acceptance test,主要是电性能测试,每一类晶体管的参数,电压电容电阻等,每一层金属的电阻,层间的电容等,12寸厂的晶圆抽测9颗样点,均匀分布在整个wafer上,答主熟悉的55nm技术,每一个样点上必测70~120个参数,整片wafer测完约需要10~15分钟,设备主要是安捷伦和东电的;
2,在晶圆制造过程中监测膜厚、线宽等,膜厚是13点,线宽是9点;
3,光学镜头芯片还会测试wafer的翘曲度、整体厚度值,要配合后端芯片的再制备;
4,在测试芯片(非生产性正常检测)的时候,还会测试NBTI、TDDB、GOV等;
5,其他根据芯片特性的测试。
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