带你了解一下三种主流硅压力传感器

硅压力传感器，又叫扩散性半导体压力传感器。下面是三种主流的硅压力传感器类型。

1.血压计用硅压力传感器

这种类型的传感器在80℃以下测定空气等非腐蚀性气体，需用硅凝胶等软质树脂进行封装，即把硅圆片粘接在金属底座上，再引出连接线。为提高可靠性而用硅凝胶填充定形，其优点是成本很低。其原理是，待测气体通过与管壳上的管子连接的橡胶管导入，压力通过硅凝胶的传导，作用到圆形隔片的上部，其下部受到大气的压力，在受压的场合下，两个压力差使得隔片变成凹形。

2.汽车用硅压力传感器

这种硅压力传感器，由于是安装在引擎系统中，要耐受汽油蒸汽的110℃的高温，为使其稳定工作，这里就不能使用树脂，而需要在金属底座上用玻璃把硅片和硅台座连接起来。

金属底座和硅片的热膨胀系数是不同的，因此用5mm厚的硅台座进行缓冲。管子安装在没有元件的硅片内侧，在管壳内是真空的情况下检测出绝对压力。

3.流量计用硅压力传感器

流量计用硅压力传感器，其内部填充液体，主要用于油压及成套设备作流量计。其结构是，将硅片安装在底座上以后，在管壳的上部用薄SUS隔片密封，内部封入硅油。因为测定体只与SUS的隔片接触，因此能够耐受某些腐蚀性气体和液体，其特点是成本较高。

此外，硅压力传感器的检测方式有检测压差显示的压力型、绝对压力型和硅片两侧都有管子的二差压型三种方式。