什么是电镜技术?

什么是电镜技术? 一种用电子显微镜进行显微分析的技术。由于电子的德布罗意波波长（参见电子）比光波小几个量级，所以电子显微镜具有高分辨成像能力，对显微分析带来极大方便。从本世纪30年代以来，一系列电子光学仪器的相继出现并不断完善，有力地推动了材料显微分析技术的发展。它们主要是透射电子显微镜，超高压电子显微镜，扫描电子显微镜，扫描透射电子显微镜等。
透射电子显微镜，简称透射电镜（TEM），是以波长极短的电子束作为照明源，用电子透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。被分析的样品必须制成电子能穿透的、厚度为10～200um的薄膜。其点分辨本领优于0.3～0.5um，晶格分辨本领可达0.1～0.2nm，放大倍数达数十万倍。超高分辨本领透射电镜还能直接显示固体晶格像，甚至可以观察重金属原子像。超高压电子显微镜，简称超高压电镜（HVEM），是又一种TEM，它的加速电压为1000kV，等于常用的TEM加速电压的10倍，从而成为重要的显微分析手段。扫描电子显微镜，简称扫描电镜（SEM），它的成像原理与TEM不同，是以类似电视摄像显像的方式，用细聚焦电子束在样品表面激发出次级电子，经探测器收集后成为信号，再调制扫描成像。SEM具有样品制备简单、放大倍数连续调节范围大、景深大、分辨本领比较高等特点，是进行样品表面显微分析研究的有效工具。扫描透射电子显微镜，简称扫描透射电镜（STEM），成像方式与扫描电镜相似，不过接收的不是次级电子而是透射电子（包括部分小角度散射电子），样品也必须是薄膜。利用这种STEM已观察到轻元素支持膜上的单个重原子，特别是利用它的微小电子束斑作极微区（几十埃）的晶体结构分析和成分分析。