靶材是什么

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统，在适当的工艺条件下，在基底上形成各种功能薄膜的溅射源。 简单来说，靶材就是被高速带电粒子轰击的靶材，用于高能激光。